激光器特點(diǎn)


l  長(zhǎng)期工作穩(wěn)定性高
l  RS232控制，外部GATE，TRIGGER控制
l  支持PWM功率控制
l  LD模塊可現(xiàn)場(chǎng)更換
l  TEM00基模輸出（M2< ）
l  體積小，結(jié)構(gòu)緊湊
l  重復(fù)頻率30kHz-100kHz可調(diào)
應(yīng)用范圍


l  薄膜蝕刻
l  材料微加工
l  微孔加工
l  晶圓切割
l  科學(xué)研究等


l  激光標(biāo)記
技術(shù)參數(shù)
型號(hào)

LASER355-3W


波長(zhǎng)

355nm


功率

3W@30KHz


單脈沖能量

100μJ@30kHz


頻率

30~100kHz


脈寬

<20ns@30KHz


光斑模式

TEM00 (M2< )


光束直徑

±


功率穩(wěn)定性

<3% RMS over 8 hours


脈沖穩(wěn)定性

<3% RMS over 10mins


光點(diǎn)穩(wěn)定性

<50μrad


光束發(fā)散角

<2mrad (full angle)


光斑圓度

>90%


控制方式

RS232, Gate, Trigger


制冷方式

Air-cooling


偏振方向

Horizontal


偏振比

>100:1


環(huán)境溫度

15°C ~ 35°C


相對(duì)濕度

10% ~ 80%（無(wú)結(jié)露）


預(yù)熱時(shí)間

<15mins


工作電壓

90V ~ 260V