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中文名稱：三甲基氯硅烷
化學式：C3H9ClSi
CAS登錄號：75-77-4
熔    點：-40℃
外    觀：無色溶液
閃    點：-18℃
分子量：
英文名：trimethyl chlorosilane
密    度：
沸    點： ℃
無色透明液體。有揮發性，在潮濕空氣中易水解而成游離鹽酸。