四氟化硅（silicon tetrafluoride），也叫氟化硅，分子式為SiF4，分子量為 。它的分子結構是：Si原子以sp3雜化軌道形成σ鍵，分子形狀為正四面體形，它的分子式為SiF4，分子量為 ，它的密度是 ，儲存需要避免強酸，避免潮濕空氣。中文名四氟化硅英文名silicon tetrafluoride別稱氟化硅化學式SiF4分子量 CAS登錄號7783-61-1EINECS登錄號232-015-5熔點- ℃( )沸點-65℃( )水溶性溶于乙醇、、不溶于密度 (-88℃)危險品運輸編號1859