三氟化氯（chlorine trifluoride）是無機化合物 ，分子式為ClF?，分子量為 。有毒，有強腐蝕性，常溫下為無色氣體，降溫變為綠色液體。可用作氟化劑、燃燒劑、推進劑中的氧化劑、高溫金屬的切割油等。中文名三氟化氯英文名chlorine trifluoride化學式ClF3分子量 CAS登錄號7990-91-2EINECS登錄號232-230-4熔    點- ℃沸    點 ℃密    度相對密度      -78℃時為 外    觀無色氣體或綠色液體應    用用作氟化劑，燃燒劑，推進劑中的氧化物，高溫金屬的切割油等。（1）ClF3主要用來生產六氟化鈾（UF6），以及核燃料加工和后期處理，主要反應方程式：U + 3 ClF3→ UF6+ 3 ClF（2）在半導體工業中，三氟化氯被用于清潔化學氣相沉積的反應艙。它具有不需拆卸反應艙就可以清除艙壁附著的半導體物質這一優點。與其它代替的清潔劑不同，三氟化氯在使用前不需經過等離子體激化，因為反應艙殘存的熱量就足以使它分解并與半導體材料反應。