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電子工業是VOCs排放的主要行業之一，電子工業廢氣VOCs排放種類有30多種，組分復雜。電子工業廢氣VOCS主要來源于對電子產品的表面涂層工藝環節所用溶劑型涂料和清洗工藝環節所用有機溶劑所致。一般來說，廢氣排放中風量較大，VOCs濃度較低。半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點，電子工業廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。

電子廠廢氣處理方法
（1）預處理階段：一般采用噴淋塔先對廢氣進行預處理，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
（2）主要處理階段：在此階段，比較常見而有效方法有：UV光解，生物過濾分解，焚燒和催化燃燒等。
這幾種方式各有優劣，根據大多數電子廠廢氣的情況，在這里我們主要推薦和介紹活性炭濃縮+蓄熱式催化燃燒系統去除VOCs氣體的方案。
活性炭濃縮+催化燃燒法簡介

活性炭濃縮
即采用活性炭吸附裝置來對廢氣進行濃縮。由于電子廠廢氣具有風量大，濃度低的特點，而催化燃燒系統在啟動運行時，對能源的消耗較大，如果預處理后的氣體先通過活性炭吸附到達一定濃度后，再進入催化燃燒系統，相對于直接進入催化燃燒系統，將可以大大的節省能源的消耗。

蓄熱式催化燃燒系統(RCO)
催化燃燒是典型的氣—固相催化反應，它借助催化劑降低了反應的活化能，使其在較低的起燃溫度200～ 300℃下進行無焰燃燒，有機物質氧化發生在固體催化劑表面
同時產生CO2和H2O，并放出大量的熱量，因其氧化反應溫度低，所以大大地抑制了空氣中的N2形成高溫NOx。而且由于催化劑有選擇性催化作用，有可能限制燃料中含氮化合物(RNH)的氧化過程，使其多數形成分子氮(N2)。
蓄熱式催化燃燒，相對于普通的催化燃燒設備，增加了熱量循環裝置，設備啟動一定時間后，可大大降低對電量的消耗，為工廠省下大量的電費。

文章來源：東莞市中仁環?？萍加邢薰?