等離子是物質存在的除固態，液態，氣態之外的第四種狀態，具有宏觀度的電中性與高導電性。等離子體中含有大量活性電子，離子，激發態粒子和光子等。這些活性粒子和氣體分子碰撞的結果，產生大量的強氧化性自由基0，有機物分子被這些強氧化性的物質所氧化，終降解為CO2和H2O。 等離子體的發生技術主要有：直流電暈放電法、脈沖電暈放電法、介質阻擋放電、表面放電，目前常見的放電反應器電暈放電和介質阻擋放電的氣體壓強為105Pa，電場強度分別為5×104和102-105，等離子體的產生采用的都是高壓電場放電，對于一些易燃易爆廢氣的處理存在危險性。 低溫等離子體”是電子、化學、催化等綜合作用下的電化學過程，是依靠等離子體在瞬間產生的強大電場能量電離、裂解有害氣體的化學鍵能，從而破壞廢氣分子結構，達到凈化目的。 低溫等離子凈化設備能有效去除揮發性有機物（VOC）、無機物、、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，對于長期彌漫、積累的惡臭、異味，24小時內即可祛除，并且具有殺滅空氣中細菌、病毒等各種微生物能力，而且具有明顯的防霉作用。 低溫等離子凈化設備不需任何添加劑，不產生廢水、廢渣，不會導致二次污染。