二氯二氫硅在常溫常壓下為具有刺激性窒息氣味和腐蝕性的無色有毒氣體。空氣中易燃，44℃以上能自燃，燃燒氧化后生成氯化氫和氧化硅。加熱至100℃以上時會自行分解而生成氯化氫、氯、氫和不定性硅。施以強烈撞擊時也會自行分解。在濕空氣中產生腐蝕性煙霧。遇水水解生成鹽酸和聚硅氧烷(SiH2O)4。可溶于苯、醚和四氯化碳。與堿、乙醇起反應。即使接觸小量鹵素或其它氧化劑也會發生激烈反應。與三烷基胺、吡啶形成加成化合物。與三氟化銻反應生成氟硅烷。電子氣、外延、化學氣相淀積。分子量： 熔點： - 沸點( )： ℃液體密度(0℃， )：1220kg/m氣體密度(25℃， )： /相對密度(氣體，空氣=1，25℃ )： 比容( ℃， )： 3/kg氣液容積比(15℃，100kPa) 290L/L臨界溫度： 臨界壓力：4676kPa臨界密度：463kg/m3氣( ℃， )： 比熱容(25℃，氣體)：Cp= /(kg·K)蒸氣壓 (-20℃)： (0℃)： (20℃)： 粘度(氣體20 )： ·s表面張力(20℃)： 空氣中爆炸極(20℃， )： %～ %(體積)自燃點：：111°F(44℃)