硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級的硅氫化合物。應用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業， 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今世界的大規模生產粒狀高純度硅的中間產物。硅烷的高科技應用還在不斷出現, 包括用于制造先進陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術、新材料、新器件的基礎。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發著火范圍和極強的燃燒能量，決定了它是一種高危險性的氣體。