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三甲基鋁（TMA） 化學式 C3H9Al 中文名稱 三甲基鋁 英文名稱 Trimethylaluminium CAS No. 75-24-1 分子量 充裝系數 應用 用于LED   MOCVD外延生長；AMOLED及光伏產業 ALD或PECVD工藝。 產品規格 > % 百科： 飽和烴類等有機溶劑。在苯中為二聚體，甚至在氣相中也有部分二聚體。三甲基鋁在空氣中燃燒。遇水爆炸，生成氫氧化鋁與甲烷。為路易斯酸，能與給予體如胺類、膦類、醚類及硫醚類結合。本品可由金屬鋁與二甲基汞加熱制得；或由金屬鋁與鹵甲烷制成三鹵代三甲基二鋁，然后再反應制得。三甲基鋁用作烯烴聚合催化劑、引火燃料，也用于制取直鏈伯醇和烯烴等，可用于有機化合物氣相沉積。