四氫化硅（Silicon tetrahydride），別名為硅烷、甲硅烷、單硅烷、硅甲烷。化學式為H4Si，分子量為 。無色氣體，有惡臭味。四氫化硅為有毒氣體，人體吸入后會造成頭暈、發熱、惡心，昏迷等癥狀。、性狀：無色氣體，有大蒜惡心氣味。2、密度（g/L，℃）： 、相對蒸汽密度（g/mL，空氣=1） 、熔點（℃）：-1855、沸點（℃，常壓）：- 、沸（760mmHg）1127、蒸發熱（KJ/mol）： 、熔化熱（KJ/mol）： （KJ/mol）： 、比熱容（KJ/(kg·K)，25℃）： 、臨界溫度（℃）：- 、臨界壓力（MPa）： 、溶解性：溶于水，幾乎不溶于乙醇和四氯化硅。14、臨界體積：151. 5（計算） / 136. 75（實測cm3/mol。