產品介紹
三甲基鋁(TMA)
化學式
C3H9Al
中文名稱
三甲基鋁
英文名稱
Trimethylaluminium
CAS No.
75-24-1
分子量
充裝系數
應用
用于LED MOCVD外延生長;AMOLED及光伏產業 ALD或PECVD工藝。
產品規格
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百科:
飽和烴類等有機溶劑。在苯中為二聚體,甚至在氣相中也有部分二聚體。三甲基鋁在空氣中燃燒。遇水爆炸,生成氫氧化鋁與甲烷。為路易斯酸,能與給予體如胺類、膦類、醚類及硫醚類結合。本品可由金屬鋁與二甲基汞加熱制得;或由金屬鋁與鹵甲烷制成三鹵代三甲基二鋁,然后再反應制得。三甲基鋁用作烯烴聚合催化劑、引火燃料,也用于制取直鏈伯醇和烯烴等,可用于有機化合物氣相沉積。