射頻導納物位計的測量原理是由振蕩電路的振蕩頻率和電容值變化產生諧振，當物位的改變引起系統電容的變化，進而改變振蕩電路的振蕩頻率。傳感器中的振蕩電路可以把物位變化引起的電容量改變轉換為頻率的變化，并送給電子模塊，通過的計算分析處理后轉換為工程量顯示出來，從而實現了物位的連續測量。