橢圓偏振儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量設(shè)備。由于并不與樣品接觸，對(duì)樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種具吸引力的測(cè)量設(shè)備。


基本原理：
橢圓偏光法涉及橢圓偏振光在材料表面的反射。為表征反射光的特性，可分成兩個(gè)分量：P和S偏振態(tài)，P分量是指平行于入射面的線性偏振光，S分量是指垂直于入射面的線性偏振光。菲涅耳反射系數(shù)r描述了在一個(gè)界面入射光線的反射。P和S偏振態(tài)分量各自的菲涅耳反射系數(shù)r是各自的反射波振幅與入射波振幅的比值。大多情況下會(huì)有多個(gè)界面，回到Z初入射媒介的光經(jīng)過了多次反射和透射。總的反射系數(shù)Rp和Rs，由每個(gè)界面的菲涅耳反射系數(shù)決定。Rp和Rs定義為Z終的反射波振幅與入射波振幅的比值。


橢圓偏振儀所需的組件包括：
1、把非偏振光轉(zhuǎn)化為線性偏振光的光學(xué)系統(tǒng)；
2、把線性偏振光轉(zhuǎn)化為橢圓偏振光的光學(xué)系統(tǒng)；
3、樣品反射；
4、測(cè)量反射光偏振特性的光學(xué)系統(tǒng)；
5、測(cè)量光強(qiáng)度的探測(cè)器；
6、根據(jù)假設(shè)模型計(jì)算結(jié)果的計(jì)算機(jī)。


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