產(chǎn)品介紹
國(guó)產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)是由高精度光學(xué)檢測(cè)顯微鏡搭載全自動(dòng)晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)組成,支持4-12寸的晶圓尺寸,可輕松實(shí)現(xiàn)多角度、全視野的宏觀(guān)檢查、以及晶圓微觀(guān)細(xì)節(jié)的高清捕捉,可對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程工藝中的關(guān)鍵參數(shù)、缺陷問(wèn)題進(jìn)行有效監(jiān)控,是晶圓來(lái)料檢測(cè)和工藝控制流程缺陷分析的工具。
國(guó)產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)適用于半導(dǎo)體、集成電路、微電子、光電子、太陽(yáng)能等領(lǐng)域,可以用于生產(chǎn)線(xiàn)上各個(gè)環(huán)節(jié)的晶圓搬運(yùn)和存儲(chǔ),如晶圓清洗、晶圓加工、晶圓測(cè)試等。通過(guò)使用國(guó)產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī),可以減少人工操作,降低生產(chǎn)成本,提高生產(chǎn)效率,同時(shí)保證晶圓的質(zhì)量和安全性。
特點(diǎn):
1、高性?xún)r(jià)比:與進(jìn)口設(shè)備相比,國(guó)產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)價(jià)格更具競(jìng)爭(zhēng)力,可以為半導(dǎo)體制造企業(yè)節(jié)約成本。
2、特定需求滿(mǎn)足:設(shè)備可以根據(jù)客戶(hù)的特定需求進(jìn)行定制和調(diào)整,以適應(yīng)不同的晶圓尺寸、工藝要求和生產(chǎn)線(xiàn)布局。
3、技術(shù)維護(hù)支持:設(shè)備由本土企業(yè)生產(chǎn),通常提供本地化的技術(shù)維護(hù)和支持服務(wù),可以更及時(shí)地響應(yīng)客戶(hù)需求并提供售后支持。
4、創(chuàng)新和發(fā)展:中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)正在迅速發(fā)展,國(guó)產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)制造商也在不斷進(jìn)行技術(shù)創(chuàng)新和研發(fā),以提升產(chǎn)品性能和適應(yīng)新的市場(chǎng)需求。
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