油質量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC)，它通常由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調節閥等部件組成。


油質量流量控制器一般分為以下幾種類型：
1、容積式流量計，又稱定排量流量計。它利用機械測量元件把流體連續不斷的分割成單個已知的體積部分，根據測量室逐次重復的充滿和排放該體積部分流體的次數來測量流體體積流量。
2、浮子式流量計，又稱轉子流量計，是變面積式流量計的一種，在一根由下向上擴大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。
3、差壓式流量計 ，是根據安裝于管道中流量檢測件產生的差壓，已知的流體的條件和檢測間與管道的尺寸來計算流量的儀表。


質量流量控制器常用選配項：
1、后置閥門，優化真空及背壓應用的控制
2、批量控制模式，依靠快速的閥門響應來分配流量，包含在累加器(TOT)功能中
3、9針或15針D-Sub等連接接口可選
4、通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選
5、彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合


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