旋片式真空泵的泵內(nèi)偏心裝置的轉(zhuǎn)子與定子固定面相切，兩個或以上旋片在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動并且與定子內(nèi)壁相互接觸，將泵腔分為幾個可變?nèi)莘e的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)莘e真空泵。普遍旋片與泵腔之間的間隙的密封需要用油來實(shí)現(xiàn)，所以旋片真空泵普遍是油封式機(jī)械真空泵。旋片式真空泵能夠抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)設(shè)備，還能夠抽除一定量的可凝性氣體。但是不適合用于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。