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蓄熱式熱氧化燃燒凈化裝置根據催化燃燒機理，由催化室、電加熱箱、熱交換器、風機、電控柜五大部分組成。蓄熱式熱氧化器的蜂窩陶瓷能夠將燃燒機的熱量儲存起來，當陶瓷的溫度超過有機廢氣的著火點時，即使爐內無火，熾熱的蜂窩陶瓷也能把有機廢氣點燃。蓄熱式熱氧化器具有能耗低、應用范圍廣泛等優點，是一種很有發展前景的VOCs氣體處理方法。當前石油化工、輕工、塑料、印刷等行業排放的有機廢氣處理為直燃式焚燒爐和蓄熱式熱氧化器(稱RTO)。這大大地降低了整體運營成本。蓄熱式氧化裝置在處理含少量溶劑的工藝蒸汽時特別有效。蓄熱式熱氧化裝置（RTO）提供了比任何其它氧化系統 高的熱回收特性。RTO 使用回收能源來將進氣處理氣體預熱至氧化溫度。