新鄉切割機器人是一種在真空環境下任務的機器人，次要使用于半導體工業中，完成晶圓在真空腔室內的傳輸。真空機械手難出口、受限制、用量大、通用性強，其成爲制約了半導體配備零件的研發進度和零件產品競爭力的關鍵部件。而且國外對中國買家嚴加審查，歸屬于禁運產品目錄，真空機械手已成爲嚴重制約我國半導體設備零件配備制造的“卡脖子”成績。直驅型真空機器人技術屬于原始創新技術。
關鍵技術包括：
(1)新鄉切割機器人新構型設計技術：經過構造剖析和優化設計，避開專利，設計新構型滿足新鄉切割機器人對剛度和伸縮比的要求；
(2)大間隙真空直驅電機技術：觸及大間隙真空間接驅動電機和高干凈直驅電機展開電機實際剖析、構造設計、制造工藝、電機資料外表處置、低速大轉矩控制、小型多軸驅動器等方面。
(3)真空環境下的多軸精細軸系的設計。采用軸在軸中的設計辦法，減小軸之間的不同心以及慣量不對稱的成績。
(4)靜態軌跡修正技術：經過傳感器信息和機器人運動信息的交融，檢測出晶圓與手指之間基準地位之間的偏移，經過靜態修正運動軌跡，保證機器人地將晶圓從真空腔室中的一個工位傳送到另一個工位。
(5)契合SEMI規范的真空機器人言語：依據真空機器人搬運要求、機器人作業特點及SEMI規范，完成真空機器人公用言語。
(6)牢靠性零碎工程技術：在IC制造中，設備毛病會帶來宏大的損失。依據半導體設備對MCBF的高要求，對各個部件的牢靠性停止測試、評價和控制，進步機械手各個部件的牢靠性，從而保證機械手滿足IC制造的高要求。
新鄉切割機器人是一種在干凈環境中運用的工業機器人。隨著消費技術程度不時進步，其對消費環境的要求也日益苛刻，很多古代工業產品消費都要求在干凈環境停止，干凈機器人是干凈環境下消費需求的關鍵設備。
關鍵技術包括：
(1)干凈光滑技術：經過采用負壓制塵構造和非揮發性光滑脂，完成對環境無顆粒凈化，滿足干凈要求。
(2)高速顛簸控制技術：經過軌跡優化和進步關節伺服功能，完成干凈搬運的顛簸性。
(3)控制器的小型化技術：依據干凈室建造和運營本錢高，經過控制器小型化技術減小干凈機器人的占用空間。
(4)晶圓檢測技術：經過光學傳感器，可以經過機器人的掃描，取得卡匣中晶圓有無缺片、傾斜等信息。
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