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01
特征


適用于大尺寸晶片和平板顯示器


大容量可用
結合起來。
大于150 kL/min
也可以隨需應變。
02
特征


短周期時間


大容量圍繞ATM。對于大型L/L型腔，壓力可以實現很好的高速泵送。
SDL系列
溶劑排空泵也排好了隊。