產品介紹
擴展ISO Class 1,10nm棒式離子發生器AeroBarMP Model 5635
5635型Aerobar MP靜電消除器是一款超低顆粒兼容產品，用于要求精細顆粒管理小于等于100nm的場所的靜電消除，包括 的半導體制造工藝。
單晶硅電極在 范圍內具有很好的采用記錄，避免了由于超低顆粒特性和電極材料導致的金屬污染風險
通過原始MP（脈沖調制）方法有效地將離子帶入目標的 靜電消除
即使在100毫米距離和離子平衡下也可以使用小的潛在擺動特性，而且在棒長度上幾乎沒有偏差
智能控制電路自動管理離子發生狀態和離子平衡
可拆卸1/4圈可更換電極有助于減少維護工時
由于MP系統的特點，潛在擺幅非常小，所以設置簡便同時，小幅擺幅有效地將長期離子平衡保持在管理標準之內
設置半導體前端EFEM對應的長度條
24 V DC驅動控制器的緊湊設計
高水平的 支持網絡
輸入電壓24 V DC +/- 10％，輸出電壓高達約 kv p - p可調
臭氧含量< ppm（24小時綜合值） 信號輸出報警IO開路集電極輸出
尺寸高度78毫米x長度34毫米x長度如下 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/ 1900/2050/2200/2350毫米
外部ABS樹脂
深圳市杉本貿易有限公司上海辦事處
聯系人：謝子晗
QQ：2850148612
電話（微信同號）：159/2190/6333
shsugimoto2018
