產品介紹
5225型Aerober離子發生器是一款棒狀離子發生器，專門設計用于超凈化工藝設備，如半導體。
單晶硅電極在 范圍內具有很好的采用記錄，避免了由于超低顆粒特性和電極材料導致的金屬污染風險
采用脈沖直流法的廣泛的靜電消除能力
全數字電路控制，更穩定的離子生成和長離子平衡
通過安裝5200-SR外部傳感器附近的中和目標（可選），而不是離子發生器條體，當在中和目標的反饋控制可能的附近的離子平衡（5200-SR未連接，電離器棒體內置傳感器是離子平衡自動調整）
設置半導體前端EFEM對應的長度條
各種參數如離子發生輸出，離子發生時間，報警閾值等可以設置在一個很寬的范圍內，從而實現靈活的對應，如長距離應用和弱氣流環境
只需輸入參數的數值即可獲得高重復性，并且可以在短時間內完成設置
除了簡單的IO報警外，還可以通過免費的DLL進行實時監控，有助于掌握工藝設備的狀態
深圳市杉本貿易有限公司上海辦事處
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