邦定其就是焊接的一種。綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式：壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。 1）壓接采用壓條，一般會采用增加石墨紙、鉛或銦皮，來提高接觸的良好性。 1）壓接：采用壓條，一般為了提高接觸的良好性，會增加石墨紙、Pb或In皮。 1）釬焊：一般使用軟釬料的情況下，要求濺射功率小于20W/㎝2，釬料常用In。 1）導(dǎo)電膠：采用的導(dǎo)電膠要耐高溫，厚度在0.02-0.05μm。 可以理解為釬焊或者擴(kuò)散焊，但要求在真空爐中進(jìn)行焊接，在需要綁定的兩種材料之間加上焊料（一般為低熔點的高純金屬銦），加壓加溫，最終焊接成型，有效解決變形，脫靶等問題。 一種綁定靶材用平臺，包括一平臺托板4，其特征在于：所述平臺托板(4)固定在平臺腿(14)上，平臺腿(14)上設(shè)有升降裝置(2)，能夠調(diào)節(jié)平臺的水平度；所述平臺托板(4)內(nèi)放置絕緣板(7)，平臺托板(4)與絕緣板(7)之間鋪有保溫材料(3)；絕緣板(7)內(nèi)部間隔設(shè)有多個穿絲孔(8)，穿絲孔(8)內(nèi)部設(shè)置有電熱絲(6)，電熱絲(6)通過導(dǎo)線連接到控制箱(12)上；所述絕緣板(7)上面放置導(dǎo)熱板(10)，導(dǎo)熱板(10)通過固定片(5)與平臺托板(4)相連接；所述導(dǎo)熱板(10)內(nèi)部設(shè)有散熱孔(9)，散熱孔(9)與氣管(11)相連，氣管(11)連接到控制箱(12)上；在導(dǎo)熱板(10)中還設(shè)有測溫元件，測溫元件的補償導(dǎo)線與控制箱(12)相連。