光氧廢氣凈化器的工作機理是采用微波場激發無極燈，從而產生高強的紫外線，這種紫外線是目前工業UV/O3紫外燈中劑量和能量的紫外線，它可以在最短的時間內裂解氨氣等鍵能小于880kJ/mol的分子鍵。一般情況下，光解的時間是大于1秒的，無極燈紫外線同樣能裂解自然界中相對比較穩定的氮氮叁鍵。無極燈紫外線光解氧氣產生臭氧，臭氧能快速氧化金屬性較強的污染物，臭氧量可根據污染物的濃度以及后續反應時間設定。 光氧廢氣凈化器無極燈的使用壽命可以達到5000小時，它是沒有電極的。我們完全不用考慮由于電極氧化錫老化導致的安全性問題，這也在很大程度上提高了紫外燈的使用壽命，也克服了光氧催化凈化器加工中電極絕緣和密封所帶來的結構問題。我們可以隨意改變無電極的形狀和放置位置，從而滿足廢氣凈化工程的調試需要，從而避免設備結構固定造成的機械破壞。微波場的熱效應不僅可以提高系統的氧化速度，還可以促進光解作用。雖然，微波場不能使分子離子化，但它可以以億倍的速度提高離子化的分子的運動速度，提升光子的撞擊能量，達到雪崩式裂解污染物的作用。