產品介紹
VIEW Pinnacle+Plus將Pinnacle的性能提升到了下一個等級
Pinnacle+Plus擁有堅硬的花崗巖支撐結構和高性能的Z軸移動組件,使測量微電子零件和組件時產生盡可能低的不確定性.
很好的線性馬達控制技術造就了運行速度快,可靠的免維護平臺,滿足了從無塵室到工廠車間的生產環境中,大容量,高性能的操作。
特征:
X,Y,Z 行程 (毫米):250 x 150 x 50
X,Y,Z 光柵尺分辨率:XY - ;μm, 零膨脹材料,Z - μm, 零膨脹材料
平臺驅動系統:無摩擦高速線性馬達驅動 X&Y, 直流伺服馬達驅動 Z
速度:X,Y - 100 mm/sec / Z - 25 mm/sec
承載量:25 kg
光學系統 :單倍放大, 工廠安裝背光的鏡頭和視場交換式前透鏡標配為VIEW 1X 背管,5X鏡頭
計量軟件
可選項: Elements
可選項Measure-X