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MITO DENKO水戶電工MBE-260_MBE裝置




MBE裝置MBE-260概要：
水戶電工MBE設備是超高真空裝置，可以用從外部引入的激光在真空中激發，并將材料沉積在襯底上。






MBE裝置MBE-260規格參數：  
Configure                                                                                                    Spec


Processing room 
and vacuum exhaust system                   Chamber Sharpφ260mm               Spherical SUS
                                                              Reaching vacuum                          Less ×10-7Pa (5×10-9Torr)
                                                              Ceramic bearing 
                                                              turbo pump                                   250L/s






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