真空水平多關節型5軸潔凈機械手臂




真空水平多關節型5軸潔凈機械手臂特點： 
5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂GTVCR5000系列
實現了下降價格，但是也可以維持以前的GTVHR5000系統的機能，功能
能夠在真空環境下對應并排擺放的腔室工作臺布局，能夠靈活地適應不同類型設備的多種布局
通過優化機械手臂的空間尺寸，有利于減小真空腔室的內部容積
非常適合inline設備
機械手臂標準臂長：280mm, 330mm
手臂關節處使用磁流體密封裝置
真空密封：磁流體密封裝置以及波紋管
提高潔凈度的方法：手臂內部排氣口安裝5μm級過濾器
雙手指機構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
配備動作監視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用 值編碼器規格的AC伺服電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
手指材質：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式，利用O型膠圈的摩擦力來保持位置








真空水平多關節型5軸潔凈機械手臂基本參數：
使用環境                    潔凈間內的大氣：溫度 15°C-40°C
工藝室溫度                 450°C
手臂                          單臂
到達距離                    635mm (手臂第3關節中心基準)
升降軸行程          60mm
可搬運質量                4kg (手臂第3關節處基準)




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