產品介紹
小徑晶圓用_3軸圓柱坐標型晶圓搬運機械手臂
小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂特點：
超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標型晶圓搬運機械手臂SSCR3090S系列
適用于半導體生產設備內部，檢測設備等小尺寸晶圓的搬運，通過優化機械手臂的空間尺寸，
有利于實現設備的小型化
機械手臂標準臂長：90mm
同SSCR2090S-PM兼容，連桿式手臂，可以定制沒有Z軸模塊的機械手臂
全軸使用2相步進電機
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供手指
小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂基本參數：
使用環境 潔凈間內的大氣環境
手臂 單臂
到達距離 175mm (手臂第3關節中心到達距離)
升降軸MAX行程 150mm
可搬運質量 (只包含被搬運物體)(手臂第3關節處基準)
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