帶翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的4軸晶圓搬送機(jī)械手




帶翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的4軸晶圓搬送機(jī)械手特點(diǎn)： 
使用了JEL制造的伯努利原理機(jī)械手，可吸附減薄晶圓
具有較高的剛性，手臂的第三關(guān)節(jié)可以承受3kg的負(fù)載（包括手臂和搬運(yùn)物）
采用了步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，能夠有效地降低耗電量有利于節(jié)能
雙機(jī)械手結(jié)構(gòu)，能夠縮短晶圓的交換時(shí)間
可以根據(jù)客戶設(shè)備的布局，選擇法蘭固定方式或者底座固定方式




帶翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的4軸晶圓搬送機(jī)械手基本參數(shù)：
使用環(huán)境                        潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂                              雙臂
到達(dá)距離                        315mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸MAX行程             200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm
可搬運(yùn)質(zhì)量                    3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))




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