產品介紹
帶翻轉機構的4軸晶圓搬送機械手
帶翻轉機構的4軸晶圓搬送機械手特點：
使用了JEL制造的伯努利原理機械手，可吸附減薄晶圓
具有較高的剛性，手臂的第三關節可以承受3kg的負載（包括手臂和搬運物）
采用了步進電機驅動，能夠有效地降低耗電量有利于節能
雙機械手結構，能夠縮短晶圓的交換時間
可以根據客戶設備的布局，選擇法蘭固定方式或者底座固定方式
帶翻轉機構的4軸晶圓搬送機械手基本參數：
使用環境 潔凈間內的大氣環境
手臂 雙臂
到達距離 315mm (手臂第3關節中心到達距離)
升降軸MAX行程 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm
可搬運質量 3kg (手臂第3關節處基準)
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