4軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂適用于超級(jí)潔凈間要求




4軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn)： 
適用于超級(jí)潔凈間要求的4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂
在保持高性價(jià)比和高速傳輸特性的基礎(chǔ)上，解決了步進(jìn)電機(jī)常見(jiàn)的丟步問(wèn)題，
適用于減薄晶圓以及晶圓四周邊緣區(qū)域真空吸附方式的新型雙臂機(jī)械手臂
采用了不會(huì)發(fā)生丟步現(xiàn)象的控制方式來(lái)控制步進(jìn)電機(jī)
高強(qiáng)度手臂/手臂第3關(guān)節(jié)處可承受3kg力（包含腕部機(jī)構(gòu)模塊，晶圓的質(zhì)量）
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式






4軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境                    潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂                          雙臂
到達(dá)距離                    475mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸MAX行程         200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm 
可搬運(yùn)質(zhì)量                3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))






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