產品介紹
4軸晶圓搬運機械手臂適用于超級潔凈間要求
4軸晶圓搬運機械手臂特點：
適用于超級潔凈間要求的4軸圓柱坐標潔凈機械手臂
在保持高性價比和高速傳輸特性的基礎上，解決了步進電機常見的丟步問題，
適用于減薄晶圓以及晶圓四周邊緣區域真空吸附方式的新型雙臂機械手臂
采用了不會發生丟步現象的控制方式來控制步進電機
高強度手臂/手臂第3關節處可承受3kg力（包含腕部機構模塊，晶圓的質量）
適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
4軸晶圓搬運機械手臂基本參數：
使用環境 潔凈間內的大氣環境
手臂 雙臂
到達距離 475mm (手臂第3關節中心到達距離)
升降軸MAX行程 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm
可搬運質量 3kg (手臂第3關節處基準)
了解更多：
4軸晶圓搬運機械手臂相關產品：
衡鵬供應
防水式/真空3軸晶圓搬運機械臂
防水式/水平多關節型4晶圓搬運機械手臂
5軸水平多關節型晶圓搬運機械手
