5軸晶圓搬運機械手_水平多關節型




5軸晶圓搬運機械手_水平多關節型特點： 
可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節潔凈機械手臂GTCR5000系列
單臂雙手指結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能
適用于300mm半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運
機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm
機械手臂可以單獨對應2個FOUP（210mm臂長）
或者3個FOUP（280mm臂長）
雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動作監視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用 值編碼器規格的AC伺服電機
通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優化
能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供手指




5軸水平多關節型晶圓搬運機械手基本參數：
使用環境                          潔凈間內的大氣環境
手臂                                 單臂
到達距離                           553mm (手臂第3關節中心到達距離)
升降軸MAX行程                 300mm / 400mm / 500mm
可搬運質量                       4kg (手臂第3關節處基準)




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