產品介紹
晶圓搬送機械臂_真空3軸圓柱坐標潔凈機械手
晶圓搬送機械臂_真空3軸圓柱坐標型機械手特點：
真空3軸圓柱坐標型機械手臂SVCR3000系列
雙手指結構可以在真空腔室內搬運4kg以下的托盤
相比LVHR系列機械手臂具有較好的性價比優勢
手臂關節處使用磁流體密封裝置
真空密封：磁流體密封裝置和波紋管
提高潔凈度的方法：手臂內部排氣口安裝5μm級過濾器
配備動作監視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
可以選配2相步進電機規格
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供手指
3軸晶圓搬送機械臂基本參數：
使用環境 潔凈間內的大氣環境真空
手臂 單臂
到達距離 640mm (手臂第3關節中心到達距離)
升降軸MAX行程 60mm
可搬運質量 10kg (手臂第3關節處基準)
了解更多：
晶圓搬送機械臂_真空3軸圓柱坐標潔凈機械手相關產品：
衡鵬供應
防水式4軸圓柱坐標潔凈機械手臂
5軸水平多關節型晶圓搬運機械手
