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OKAMOTO_GNX200B晶圓研磨機擁有BG貼膜研磨專利技術




OKAMOTO GNX200B晶圓研磨機特點：
·GNX200B擁有BG貼膜研磨專利技術。
·一臺設備同時實現BG貼膜平坦化及晶圓的減薄化
·無需修砂可持續進行平坦化加工。
·耗材損耗小，成本低廉。
·研磨廢料精細減輕廢水處理負擔。
·提供晶圓研磨與晶圓貼膜自動化解決方案。






OKAMOTO晶圓研磨機GNX200B規格：
規格                     GNX200B     
加工直徑     Ф200     
軸承旋轉數     0~3600min-1     
軸承驅動電機     Kw/P    
軸承進給速率     1~999μm/min
主軸數                     2
工作軸旋轉數     1~300min-1
軸承尺寸（外徑）          Ф250    
質量                     3900mm     




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