OKAMOTO_GNX200B晶圓研磨機(jī)擁有BG貼膜研磨專利技術(shù)




OKAMOTO GNX200B晶圓研磨機(jī)特點：
·GNX200B擁有BG貼膜研磨專利技術(shù)。
·一臺設(shè)備同時實現(xiàn)BG貼膜平坦化及晶圓的減薄化
·無需修砂可持續(xù)進(jìn)行平坦化加工。
·耗材損耗小，成本低廉。
·研磨廢料精細(xì)減輕廢水處理負(fù)擔(dān)。
·提供晶圓研磨與晶圓貼膜自動化解決方案。






OKAMOTO晶圓研磨機(jī)GNX200B規(guī)格：
規(guī)格                     GNX200B     
加工直徑     Ф200     
軸承旋轉(zhuǎn)數(shù)     0~3600min-1     
軸承驅(qū)動電機(jī)     Kw/P    
軸承進(jìn)給速率     1~999μm/min
主軸數(shù)                     2
工作軸旋轉(zhuǎn)數(shù)     1~300min-1
軸承尺寸（外徑）          Ф250    
質(zhì)量                     3900mm     




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