產品介紹
桌面型多功能等離子設備可在真空腔室內產生密集,均勻的等離子體
桌面型多功能等離子設備概要：
是針對研發、試產需求設計的桌面型多功能等離子處理系統。其緊湊可靠的設計可在真空腔室內產生密集、均勻的等離子體，適用于等離子表面處理、表面刻蝕以及其它多種工藝應用。
桌面型多功能等離子設備特點：
·設計緊湊的桌面型等離子工藝平臺，易于與廠務端連接
·可靠的腔體結構設計，確保工藝腔體具備氣密性與耐用性
·排氣設計，保證工藝過程的均勻性
·支持多種電極形式與4路工藝氣體，適用于處理各種產品并適應多種工藝要求
·直觀的圖形控制界面，通過觸屏可實時觀察、控制工藝過程
· 射頻電源與自動匹配系統，具有優異的穩定性和可重復性
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