okamoto晶圓減薄機(jī)GNX200B
okamoto晶圓減薄機(jī)GNX200B是向下進(jìn)給式全自動(dòng)硅片減薄設(shè)備，機(jī)械搬送臂。










okamoto晶圓減薄機(jī)GNX200B規(guī)格：
規(guī)格                  GNX200B
MAX加工直徑 Ф200mm
主軸轉(zhuǎn)速范圍 0~3600rpm
主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)功率 Kw/P
主軸進(jìn)給速度范圍 1~999μm/min
主軸數(shù)                 2
工作盤轉(zhuǎn)速范圍 1~300rpm
研磨輪尺寸 Ф250mm
設(shè)備整重                 3900kg






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