產品介紹
okamoto晶圓減薄機GNX200B
okamoto晶圓減薄機GNX200B是向下進給式全自動硅片減薄設備,機械搬送臂。
okamoto晶圓減薄機GNX200B規格:
規格 GNX200B
MAX加工直徑 Ф200mm
主軸轉速范圍 0~3600rpm
主軸驅動電機功率 Kw/P
主軸進給速度范圍 1~999μm/min
主軸數 2
工作盤轉速范圍 1~300rpm
研磨輪尺寸 Ф250mm
設備整重 3900kg
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