產品介紹
半自動晶圓減薄貼膜機STK-650 衡鵬瑞和
半自動晶圓減薄貼膜機是專利設計的柔性滾輪貼膜/適用于4”- 8”晶圓。
半自動晶圓減薄貼膜機STK-650特點：
4”- 8”晶圓適用；
自動膠膜進給及貼膜；
手動晶圓上下料；
自動切割膠膜，省力；
藍膜、UV 膠膜可選；
PLC+觸摸屏；
配置光簾保護功能，和緊急停機按鈕；
三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態監控；
半自動晶圓減薄貼膜機STK-650規格：
晶圓直徑：4”- 8”晶圓；
晶圓厚度：100~750 微米；
單平邊,雙平邊,V 型缺口；
膜種類：藍膜或者 UV 膜；
貼膜方法：滾輪貼膜；
晶圓臺盤：接觸式晶圓臺盤；
防靜電控制：去離子風扇；
體積：950 毫米(寬)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) ；
凈重：300 公斤；
半自動晶圓減薄貼膜機性能：
晶圓收益：≥ %；
貼膜品質：沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）；
Cycle Time： ≤ 45 秒（不包含上料/下料時間）；
MTBF：>168 小時；
MTTR：<1 小時；
停機時間： <3%；
更換產品時間：≤ 10 分鐘
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