半自動晶圓減薄貼膜機(jī)STK-650  衡鵬瑞和
半自動晶圓減薄貼膜機(jī)是專利設(shè)計的柔性滾輪貼膜/適用于4”- 8”晶圓。




半自動晶圓減薄貼膜機(jī)STK-650特點： 
4”- 8”晶圓適用；
自動膠膜進(jìn)給及貼膜；
手動晶圓上下料；
自動切割膠膜，省力；
藍(lán)膜、UV 膠膜可選；
PLC+觸摸屏；
配置光簾保護(hù)功能，和緊急停機(jī)按鈕；
三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控；




 
半自動晶圓減薄貼膜機(jī)STK-650規(guī)格：
晶圓直徑：4”- 8”晶圓；
晶圓厚度：100~750 微米；
單平邊,雙平邊,V 型缺口；
膜種類：藍(lán)膜或者 UV 膜；
貼膜方法：滾輪貼膜；
晶圓臺盤：接觸式晶圓臺盤；
防靜電控制：去離子風(fēng)扇；
體積：950 毫米(寬)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) ； 
凈重：300 公斤；
 




半自動晶圓減薄貼膜機(jī)性能： 
晶圓收益：≥ %； 
貼膜品質(zhì)：沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）；
Cycle Time： ≤ 45 秒（不包含上料/下料時間）；
MTBF：>168 小時；
MTTR：<1 小時；
停機(jī)時間： <3%； 
更換產(chǎn)品時間：≤ 10 分鐘






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