產品介紹
半自動晶圓減薄后撕膜機STK-520 衡鵬瑞和
半自動晶圓減薄后撕膜機是桌上型/適用于 4”&5”&6”&8”晶圓/操作簡便。
半自動晶圓減薄后撕膜機STK-520規格參數:
晶圓尺寸:4”&5”&6”&8”晶圓;
厚度:150 ~750 微米;
撕膠膜種類:撕膜膠帶;
寬度:38~100 毫米;
長度:100 米;
撕膜角度:<45 度,并且在 5°~45°可調節;
撕膜溫度:室溫到 100 ℃范圍可調,控溫精度+/-3℃;
裝卸方式:晶圓手動放置與取出;
控制單元:基于 PLC 控制,并配有 ”觸摸屏;
驅動單元:伺服馬達驅動;
安全保護:配置緊急停機按鈕;
電源電壓:單相交流電 220V,6A;
機器外殼:白色噴塑金屬外殼;
機器指示:三色燈塔顯示機臺工作狀態;
體積:560 毫米(寬)x1060 毫米(深)x870 毫米(含燈塔高);
凈重:75 公斤;
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