【貼膜機(jī)AMW-12】半自動(dòng)晶圓切割貼膜機(jī)amw12




半自動(dòng)晶圓切割貼膜機(jī)AMW-12性能：
晶圓收益       ≥ %；
貼膜質(zhì)量       沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）；
每小時(shí)產(chǎn)能     ≥ 75片晶圓；
更換產(chǎn)品時(shí)間   ≤ 5分鐘。




半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)AMW-12切割膜規(guī)格參數(shù)：  
晶圓直徑       8”& 12”；
晶圓厚度       200~750微米；
晶圓承載環(huán)     8”DISCO 或者 K&S 標(biāo)準(zhǔn)；
               12”DISCO 或者 K&S 標(biāo)準(zhǔn)；
               客戶制定標(biāo)準(zhǔn)；
貼膜原理       防靜電滾輪貼膜；
晶圓臺(tái)盤       可更換式防靜電涂層接觸式臺(tái)盤（8“和12”之間互換）；
               或硅膠臺(tái)盤；或多孔金屬臺(tái)盤；或陶瓷臺(tái)盤；
裝卸方式       晶圓/承載環(huán)手動(dòng)放置與取出；
防靜電控制     防靜電涂層晶圓臺(tái)盤/防靜電貼膜滾輪/防靜電離子發(fā)生器裝置；
切割系統(tǒng)       手動(dòng)軌跡式圓切刀和直切刀；
晶圓定位       通用標(biāo)線/彈簧定位銷；
控制單元       基于PLC 控制，帶 ”觸摸屏；
安全防護(hù)       配置緊急停機(jī)按鈕；
電源電壓       單相交流電220V,10A；
壓縮空氣       5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺；
機(jī)器外殼       白色噴塑金屬外殼；
體積           670毫米(寬)*1110毫米(深)*880毫米(高)；
凈重           100公斤；




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