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X光檢測系統
高分辨率自動化X射線檢測系統，應用于半導體和SMT檢測，裝備有開放式X射線管，全數字圖像采集影像鏈以及CNC數控編程。
性能參數
系統放大倍數和分辨率
幾何放大倍數可達2060倍
總放大倍數可達12800倍
細節分辨能力使用納米射線管時可到200nm( μm)
密度分辨率 %
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