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多晶硅和有機硅生產裝置會產生大量氯硅烷尾氣，除部分回收外，相當一部分需排放處理，大多是石灰乳噴淋吸收，形成二氧化硅和氯化鈣混合液體，經澄清排放，產生無價值的廢渣。如果采用低溫水解或高溫水解氯硅烷氣體，可以分別產出20%以上的鹽酸和活性二氧化硅。二氧化硅通過再加工處理，可以生產白炭黑、硅微粉、硅膠、偏硅酸鈉、硅酸鋁等無機硅產品。鹽酸出售或生產氯化鈣。通過這種廢氣處理模式，投資小，沒有廢水和廢渣排放，廢氣轉化成產品，可獲得良好經濟效益。我院提供針對性解決方案、設計指導裝置建設、提供生產技術和設備。