拋光機操作的關鍵是要設法得到的拋光速率，以便盡快除去磨光時產生的損傷層。同時也要使拋光損傷層不會影響 終觀察到的組織，即不會造成假組織。前者要求使用較粗的磨料，以保證有較大的拋光速率來去除磨光的損傷層，但拋光損傷層也較深；后者要求使用 細的材料，使拋光損傷層較淺，但拋光速率低。
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