三氯氧磷，一種工業(yè)化工原料，為無(wú)色透明的發(fā)煙液體。無(wú)色透明的帶刺激性臭味的液體，在潮濕空氣中劇烈發(fā)煙，水解成磷酸和氯化氫，進(jìn)一步生成HP2O4Cl3。
用于制取磷酸二苯-異辛酯、磷酸三乙酯等磷酸酯，塑料增塑劑，有機(jī)磷農(nóng)藥，長(zhǎng)效磺胺藥物等。還可用作染料中間體，有機(jī)合成的氯化劑和催化劑，阻燃劑。
電子級(jí)三氯氧磷的用途在太陽(yáng)能行業(yè)，集成電路，分離器件，光線預(yù)制棒等液態(tài)磷源也可制備磷酸酯。
在半導(dǎo)體行業(yè)主要用于N型摻雜源，在0℃反應(yīng)效果好。