三氯氧磷，一種工業化工原料，為無色透明的發煙液體。無色透明的帶刺激性臭味的液體，在潮濕空氣中劇烈發煙，水解成磷酸和氯化氫，進一步生成HP2O4Cl3。
用于制取磷酸二苯-異辛酯、磷酸三乙酯等磷酸酯，塑料增塑劑，有機磷農藥，長效磺胺藥物等。還可用作染料中間體，有機合成的氯化劑和催化劑，阻燃劑。
電子級三氯氧磷的用途在太陽能行業，集成電路，分離器件，光線預制棒等液態磷源也可制備磷酸酯。
在半導體行業主要用于N型摻雜源，在0℃反應效果好。