半導(dǎo)體凈化工程中公用動力系統(tǒng)簡介，雅潔利為大家主要介紹六大系統(tǒng)。

  

  半導(dǎo)體凈化工程中公用動力系統(tǒng)的主要相關(guān)參數(shù)如下：

  


  （1）熱水系統(tǒng)（HotWater）

  

  主要用于各類空調(diào)機的供熱，使用外購蒸汽來加熱。熱水溫度：送水溫度65℃，回水溫度40℃；加熱介質(zhì)：蒸汽—消耗蒸汽量。


  


  （2）工藝設(shè)備冷卻水系統(tǒng)（PCW）

  

  主要用于生產(chǎn)設(shè)備發(fā)熱的冷卻，應(yīng)用冷凍水進行降溫。系統(tǒng)流量：1600m3/h；系統(tǒng)溫度：送水溫度23℃，回水溫度26℃；冷卻介質(zhì)：冷凍水——消耗冷凍機電量。

  


  （3）干燥壓縮空氣系統(tǒng)（CDA）

  

  主要用作精密的半導(dǎo)體工藝設(shè)備中氣動元件的驅(qū)動能源，CDA機組使用冷凍水降溫。供氣壓力： ；冷卻水溫度：送水溫度24℃，回水溫度30℃；冷卻介質(zhì)：冷凍水（冷凍水降溫冷卻水）——消耗冷凍機電量。

  


  （4）冷凍水系統(tǒng)（ChillerWater）

  

  由5臺 ，3臺 的特靈三級離心式制冷壓縮機組提供整個制冷需求。冷凍水溫度：送水溫度6℃，回水溫度11℃——消耗冷凍機電量；冷卻水溫度：送水溫度32℃、回水溫度38℃——排放熱量。

  


  （5）新風(fēng)系統(tǒng)（OAC）

  

  通過冷、熱盤管及多級過濾器等控制整個潔凈室環(huán)境的溫濕度和空氣潔凈度。

  

  新風(fēng)量：600000m3/h；新風(fēng)平均溫度（冬季）：5℃；送風(fēng)溫度：23℃；加熱介質(zhì)：熱水——消耗蒸汽量；去濕介質(zhì)：冷凍水——消耗冷凍機電量。

  


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