光學3D表面輪廓儀是一款用于對精密器件表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌的3D測量的光學檢測儀器。
光學3D表面輪廓儀廣泛應用于半導體工藝檢測、超精密加工、納米材料、光學加工、集成電路工藝檢測、汽車零部件、機器人、MEMS器件檢測、薄膜檢測、航空航天、國防軍工、科研院所等行業及領域中。可測各類從光滑到粗糙的物體表面，從納米到微米級別工件的輪廓、線粗糙度、面粗糙度，提供依據ISO/ASME/GBT國內外標準近百余種2D、3D參數作為評價標準。
行業應用及特點：

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺點、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。