光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對(duì)精密器件表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
光學(xué)3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝檢測(cè)、超精密加工、納米材料、光學(xué)加工、集成電路工藝檢測(cè)、汽車零部件、機(jī)器人、MEMS器件檢測(cè)、薄膜檢測(cè)、航空航天、國(guó)防軍工、科研院所等行業(yè)及領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從光滑到粗糙的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的輪廓、線粗糙度、面粗糙度，提供依據(jù)ISO/ASME/GBT國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)近百余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
行業(yè)應(yīng)用及特點(diǎn)：

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺點(diǎn)、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。