光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對精密器件表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量的光學(xué)檢測儀器。
光學(xué)3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝檢測、超精密加工、納米材料、光學(xué)加工、集成電路工藝檢測、汽車零部件、機(jī)器人、MEMS器件檢測、薄膜檢測、航空航天、國防軍工、科研院所等行業(yè)及領(lǐng)域中。可測各類從光滑到粗糙的物體表面，從納米到微米級別工件的輪廓、線粗糙度、面粗糙度，提供依據(jù)ISO/ASME/GBT國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)近百余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
行業(yè)應(yīng)用及特點：

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺點、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。