有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪，當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時(shí)就被驅(qū)向出氣口再由前級泵抽除機(jī)組中除樹脂泵、真空泵和真空閥門等附屬設(shè)備外，幾乎都是熱交換設(shè)備，制造比較容易