美國tuthill 凱尼真空設備 羅茨螺桿真空機組 碧優供
羅茨滑閥真空機組系統在很寬的壓力范圍有較大的抽速，此壓力范圍內羅茨真空泵抽氣可以增加到前級泵抽氣能力十倍或更大，同時提高真空泵系統工作真空度，實現更高極限真空，這樣的好處在于較大抽速下可以選擇經濟的泵型。
機組特點：泰悉爾公司提供二級、三級等多級真空機組系統，抽氣能力范圍100~16000m3/h；羅茨泵可提供鑄鐵和涂層，可選涂層：鍍鎳、鎳鎘、PFA/PTFE等，滑閥泵提供鑄鐵、滲氮等多種材質，廣泛應用于抽吸含有腐蝕性氣體介質、固體顆粒的工藝流程。根據不同工藝要求，真空系統配置各種附件如：過濾器、減霧器、單向閥、儀表、管路、閥門、冷卻水系統、電控系統等。
典型應用：精細化工、制藥、太陽能多晶硅、單晶硅、真空鍍膜、真空爐淬火、滲碳、退火、真空澆鑄、電弧精煉、感應熔煉
常用型號：
KMBD540+KTC112
KMBD540+KT150
ZJKT
公司名稱：上海碧優泵業有限公司
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