中圖儀器SuperViewW1 3d形貌輪廓儀能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域。
 



 
3d形貌輪廓儀參數參數
產品型號：SuperView W1系列
產品名稱：光學3D表面輪廓儀
影像系統：1024×1024
光學ZOOM： ×，（ ×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（ ×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋
Z軸行程：100mm，電動
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：
水平調整：±5°手動
粗糙度RMS重復性：
臺階高測量：準確度 %，重復性 % 1σ
主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高
生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司
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SuperViewW1 3d形貌輪廓儀不僅用于零件的檢測，還是一種在生產中用于檢測軋制產品表面缺陷的設備，能完成缺陷尺寸的在線檢測。在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。
 

 
SuperViewW1 3d形貌輪廓儀由照明光源系統，光學成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。以白光干涉技術為原理，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測，具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數涵蓋面廣的優點。它特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。