中圖儀器的SuperViewW系列深圳3d光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率，以非接觸式測(cè)量樣品表面形貌，主要用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，廣泛應(yīng)用于材料，光學(xué)，半導(dǎo)體，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。



產(chǎn)品特點(diǎn)
1.雙通道氣浮隔振系統(tǒng)大幅減小了環(huán)境振動(dòng)的影響，還可以降低高精度量測(cè)時(shí)的噪聲，提高超光滑表面的測(cè)試精度。
2.一體化操作的測(cè)量分析軟件自動(dòng)對(duì)焦樣品表面，自動(dòng)智能配置測(cè)試參數(shù)，使原來(lái)麻煩的“找條紋”，“選擇測(cè)試參數(shù)”過(guò)程，在一分鐘之內(nèi)，自動(dòng)完成。
3.雙重防撞保護(hù)功能，除初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，能保護(hù)樣品和設(shè)備的安全。




SuperViewW系列深圳3d光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器分辨率 μm，重復(fù)性 %，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。可以用于測(cè)試各類(lèi)表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測(cè)試直至100%反射率的各類(lèi)高反表面。

技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)：SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱(chēng)：光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng)：1024×1024
光學(xué)ZOOM： ×，（ ×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（ ×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺(tái)：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程：100mm，電動(dòng)
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率： nm
可測(cè)樣品反射率： %-100%
水平調(diào)整：±5°手動(dòng)
粗糙度RMS重復(fù)性：
臺(tái)階高測(cè)量：準(zhǔn)確度 %，重復(fù)性 % 1σ
主要特點(diǎn)：非接觸式無(wú)損檢測(cè)，一鍵分析、測(cè)量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
注釋?zhuān)焊嘣敿?xì)產(chǎn)品信息，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取

SuperViewW系列深圳3d光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類(lèi)型，其3D重建算法，自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合測(cè)量精度可達(dá)亞納米級(jí)別，讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單。