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為提高管道內表面的光潔度、降低粗糙度，用于輸送高純氣體、高潔凈度氣體的管道內表面都須進行處理，通常采用的處理方法有機械噴砂、化學溶液清洗、化學拋光、電拋光等。不銹鋼管電拋光處理后具有：表面光滑、清潔，表面租艇很小；去除了表面污染物，降低了表面應力；表面形成鉻氧化物層，提高材料的抗腐蝕能力等優點。高純氣體管道所用的閥門的嚴密性好或不好是影響輸送質量、降低氣體純度、增加雜質含量的重要因素之一；國內潔凈廠房內的高純氣體管道閥門基本上都是采用SS304或SS316L不銹鋼材質，閥門型式有隔膜閥、波紋管閥和球閥；波紋管閥的嚴密性比球閥好，在氣體流過閥門時沒有與外環境相接觸的填料，所以沒有閥門滲漏現象發生；隔膜閥除嚴密性與波紋管閥相同外，還具有閥體死體積小，易吹除且污染少。
高純氣體管道的連接都是采用焊接，這樣可確保管道連接的氣密性，避免高純氣體受污染；高純氣體焊接均采用保護氣體焊接方式，以防止焊接時在管內留下焊渣、氧化層等；焊接形式通常采用承插焊或對接焊連接，承插焊的好處是便于施焊時督道的對中，方便焊接，但缺點是由于管道與承插件之間有間隙，會存在“死空間”，吹除時不易吹除干凈，殘留氣體會污染高純氣體，對于要求供應高純氣體純度和雜質含量極為嚴格的生產工藝會影響產品質量。高純氣體和潔凈氣體管道與閥門等附件的連接應采用密封不易滲透的連接件，一般可采用表面密封連接件，具體選用哪一種形式應根據生產工藝對高純氣體質量的要求和氣體本身的特性；表面密封連接件為縱向壓力進行壓緊，選擇質量優良的金屬墊，便可做到氣密性好、不滲透、污染少，常用于要求氣體中雜質含量達10-9級的高純氣體輸送系統。