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為了合理選擇壓力貯罐的幾何容積，應考慮如下因素：增高充氣壓力，可減少單位貯氣量的建設投資，但壓縮氣體所需的電費要增加；若貯罐主要用于較長期的貯備容量，可盡可能地提高充氣壓力，減少幾何容積；在供氣系統和用氣設備允許的情況下，應盡可能地降低排氣壓力，減少貯罐的幾何容積。在干管或支管的末端均應設有吹除管線及控制閥；對于特種氣體的供應系統常常在儲氣瓶與用氣設備之間設有吹掃控制裝置、多閥門控制裝置，用以控制各個閥門的開關順序、系統吹除，以確保供氣系統的安全、可靠運行和防止“死區”形成而滯留污染物，降低氣體純度。對高純氣體純度要求不同的用氣設備，宜采用分等級高純氣體輸送系統；也可采用同等級輸送系統，但在純度要求高的用氣設備鄰近處設末端氣體純化裝置，提純到符合供氣質量要求。
為了檢測高純氣體的純度和雜質含量，輸送系統除了設置必要的連續檢測儀器，如痕量水含量或痕量氧雜質含量等分析儀外，還應設置定期取樣用的檢測采樣口，以便按規定時間進行采樣，分析高純氣體中各種雜質的含量。高純氣體系統的配管材料應選用不銹鋼316L電拋光（EP）管材；管道連接應采用環形對接焊或表面密封接頭；閥門應采用隔膜閥、波紋管閥等。
高純氣體管路的材質、內表面處理和閥門等附件的選用應根據產品生產工藝對氣體純度、允許的雜質含量、微粒含量等的要求不同，采用相應質量的高純氣輸送配管。采用不同材質或內表面處理方法不同的管路及附件，其使用效果相差甚遠。材料的滲透性、吸附性和材料中的不純物含量以及內表面粗糙度等的不同，均會影響高純氣體在輸送管路中的輸送質量，即使高純氣體在輸送系統的始端已經達到規定的雜質含量、塵粒含量，若輸送管路的材質和閥門選擇不當或內表面處理方法不當，都將使輸送管路的末端得不到符合要求的高純氣體質量；因為在輸送過程中高純氣體收到粒子的滲透或雜質組分的滲漏或被吸附在內壁的粒子、雜質的釋放或外部水分的污染，使高純氣體中的雜質含量、塵粒含量超過規定的標準而不能使用或引起產品成品率的降低。高純氣體輸送配管的材質、內表面處理和閥門等附件至關重要。